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            喷吹法真空检漏技术分析
            发布时间:2014-10-06 浏览:2347 次

              喷吹法是氦质谱检漏仪最常用,最方便的一种检漏方法。

              检漏时首先预抽被检件,并调整检漏仪,使其处于正常的工作状态;然后开启检漏仪节流阀,使被检件与检漏仪连通,调整好检漏仪,使其处于待检漏状态;用喷枪(或喷嘴)在被检件可能存在漏孔的部位喷吹氦气。

              喷吹一定时间后,检漏仪即可指示出被检件是否存在漏孔及漏孔的漏率。

              检漏时,喷吹示漏气体时间要适当,太短时检漏灵敏度低,太长时检漏效率低。如果要求检验灵敏度为qldmin;当检漏仪接在高真空侧时,其喷吹时间ts,可由式(qldmin=qlemin×nS/SiHe)×[1-exp(-nts/τ)]-1求得为

              ts=-(τ/n)×1n×(1-(qleminnS)/(qldmin×SiHeγ))

              当检漏仪接在前级真空侧时,可求得

              ts=-(τ/n)×1n×(1-(qleminnbSb)/(qldmin×SiHeγ))

              喷枪移动速度U与喷嘴直径d及喷吹时间ts有如下关系

              υ=10d/ts

              检漏时,以式(15-26)计算的移动喷枪速度进行喷吹时,较为合适。

              喷吹法检漏可采用标准漏孔比对法确定漏孔漏率。若已知一标准漏子L的标称漏率为qLo,将其设置在与被检漏孔基本相当的位置,用氦喷吹醛的输出信号为J。,而用相同示漏气体在同样条件下喷吹被检漏孔时,其输出信号为I,则被检漏孔的漏率为

              qL=I/Is×qLo

              喷吹法检漏时应注意的问题是:

              (1)由于氦气轻,喷吹检漏时,应从被检件上方开始检漏,逐渐向被检件下方移动喷枪;由靠近检漏仪处检漏逐渐移至远处;先用大气流粗检找出漏孔所在区域后,再用小气流精检以找出漏孔的确切的位置。

              (2)当存在两个相距很近的可疑漏孔时,应注意喷枪喷出氦气流方向(或盖住一个漏孔点)进行检漏。

              (3)检出的漏孔应复查。

              (4)检漏场地要有良好的通风条件,但不得影响喷枪喷出的氦气的流动的方向。

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